如果是偶然发现漂胶,可以从以下角度分析出问题的原因在什么地方? 1. 检查是否是更换某种衬底后或者某种光刻胶后才出现的?如果是,则说明是由于这种光刻胶与当前衬底粘附性不够导致的,建议使用增附剂改善; 2. 检查空气湿度有没有变化,一般来说,正常的空气湿度约为30-50%如果空气湿度过大,光刻胶的粘附性会有较大的影响,当空气湿度大于70%时,不再适合做光刻了; 3. 检查衬底有没有水汽,建议在涂胶前将衬底在150℃下烘烤3min出去水汽
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