光刻显影后的光刻胶结构是需要进行检测后才进入下一道工序的,紫外光刻的结构通常使用光学显微镜(带滤光)观察,纳米级结构只能在电镜下观察,当然需要注意,电镜观察需要破坏样品的,光学显微镜检查后样品可继续使用,需避免污染!
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