回复至：在矩形片上甩光刻胶不均匀

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确实，方形片子不容易涂均匀光刻胶，特别在片子尖角处。另外提到片子上本身有结构，这种情况下建议用喷涂而不是旋涂，见本文：https://www.prlib.cn/knowledge-base/%e5%96%b7%e6%b6%82%e5%b7%a5%e8%89%ba-spray-coating