不同溶剂的PMMA之间有什么不同？

[松昆]

我们发现商业化的电子束正胶PMMA型号众多，请问不同溶剂的PMMA有什么不同？如何选择？

[管理员]

我们常见的商业化电子束光刻胶正胶PMMA的溶剂种类有三种，分别为：氯苯（C）、苯甲醚（A）和乳酸乙酯（E），请注意后面括号中的字母是常见区别溶剂种类的标识。氯苯是比较早期的溶剂，苯基醚在我们日常使用中更为常见，两者在使用上并没有太多不同的地方，只是在安全性上苯甲醚会高于氯苯。但是如果我们在实际使用中使用双层胶工艺时如果PMMA在另一种光刻胶上面，如基于DNQ的正胶，苯甲醚的PMMA可能比基于氯苯的PMMA更容易侵蚀(混合)底层。关于乳酸乙酯溶剂，其与前两者的区别是，PMMA在其中的溶解度最低。所以，可以发现乳酸乙酯溶剂的PMMA很少有厚胶产品。同理，在两层PMMA搭配的工艺中，使用乳酸乙酯的PMMA作为上层可以避免涂上层胶是胶中的溶剂对下层PMMA的侵蚀（混合）。