刚做了光刻胶的旋涂，在光学显微镜下观察到的点是什么东西。是气泡还是杂质？如果是气泡该怎么解决呢？正常的光刻胶涂好之后的图像该是什么样子的呢？
如题，这个首先得分析是哪个步骤中产生的，如果是后续工艺中产生的，则可能是气泡的可能性较大，如果是气泡，需要判断气泡产生的原因，参考这个文章：https://www.prlib.cn/knowledge-base/%e6%b0%94%e6%b3%a1%e7%9a%84%e4%ba%a7%e7%94%9f%e5%8f%8a%e6%b6%88%e9%99%a4%e6%8e%aa%e6%96%bd。正常涂胶的结果是片子表面薄膜平整，无杂质，无其他颜色
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