光刻胶的厚度和胶下的电极厚度？

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要刻蚀一个形状的电极(电极形状有精度要求)镀的电极是300-400nm的铝电极，在这样的电极上面涂光刻胶的话，要用多厚的光刻胶，1微米吗，3-15微米行不行？有什么影响吗？

[管理员]

这个得看怎么刻蚀，如果是干法刻蚀，Al使用干法刻蚀不是很容易，因为需要使用溴气。另外一个问题，紫外胶的显影液大部分都是水溶性碱液哦，会腐蚀铝膜。