要刻蚀一个形状的电极(电极形状有精度要求)镀的电极是300-400nm的铝电极,在这样的电极上面涂光刻胶的话,要用多厚的光刻胶,1微米吗,3-15微米行不行?有什么影响吗?
这个得看怎么刻蚀,如果是干法刻蚀,Al使用干法刻蚀不是很容易,因为需要使用溴气。另外一个问题,紫外胶的显影液大部分都是水溶性碱液哦,会腐蚀铝膜。
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