最近光刻图形挺好,但是如何知道胶已经显干净了呢,长完电极电极长得不好,部分都断掉了,电极长得过程中没问题,明显光刻工艺不过关…请问如何在图形比较好的情况下知道光刻胶已经显干净了?
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