检测光刻胶光刻好坏的步骤？

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目前紫外光刻胶光刻完之后，有没有检测光刻胶光刻好坏的步骤？如果有的话，是什么步骤，用什么仪器，使用什么方法来检测？

[管理员]

光刻显影后的光刻胶结构是需要进行检测后才进入下一道工序的，紫外光刻的结构通常使用光学显微镜（带滤光）观察，纳米级结构只能在电镜下观察，当然需要注意，电镜观察需要破坏样品的，光学显微镜检查后样品可继续使用，需避免污染！