电子束光刻机(曝光机)厂商主要有主要集中在欧洲和日本,我们经常听到的品牌有以下几个: 欧洲: Vistec Raith Mapper nanobeam 日本: JEOL Elionix advantest Crestec 美国 KLA JC napity 等(排名不分先后) 其中,Vistec主要从事变形束电子束系统设计和生产,mapper从事多电子束光刻系统设计和生产、advantest推出了字符投影式光刻系统、其他几乎均为高斯束电子束系统 另外,需要指出的是JC napity(NPGS)生产图形发生器作为SEM附件实现电子束系统。Raith既有成套电子束曝光系统,也有图形发生器附件。
中国目前也要一些单位在研发相关电子束光刻成套系统以及图形发生器,预计在未来几年内,我们就可以看到我们国产的电子束光刻系统了
You must be logged in to reply to this topic.
Litho+ wiki是一个非盈利网站,主要用于分享光刻及使用光刻胶的基本知识,我们致力于汇集光刻技术及光刻胶使用方面的专业信息,帮助从事相关行业的老师及技术人员能够简单、快速获取相关内容,并为大家创建一个可以分享交流的平台。
我们欢迎更多光刻从业者加入我们,丰富我们的内容,为更多的用户带来新颖的技术手段和使用心得。
您可通过发送邮件到prlibteam@163.com与我们联系,并给我提出您的建议和意见!
您可以通过我们Support子站免费获得以下服务:1.寻找光刻胶产品技术资料,安全信息,应用报告;2.提交您在光刻过程中遇到的工艺问题;3.分享您在光刻工作中的心得和富有创意性的成果!
欢迎您登陆我们的sup.prlib.cn,并给我们提出您宝贵的建议!