电子束胶PMMA相对分子质量对曝光的影响？

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PMMA是我们最常见的电子束胶之一，其优点是分辨率高，性价比高。但是我们常常会发现其有很多型号，也有很多的称呼方式，如950KA4，这里我们知道950K是指相对分子质量，A是指苯甲醚溶剂，4是指4%的质量浓度。那么相对分子质量与曝光有什么影响？

[管理员]

市面上我们常会见到950K，600K，495K，200K以及50K的PMMA，简单说就是相对分子质量越高，灵敏度越低，如何理解呢？
PMMA可以理解为很长的高分子链，高分子链越长越难溶解在显影液中，短分子链的容易溶解在显影液中。在电子束的辐照下发生解链反应，长链分子需要更多的电子束辐照才能打断成短分子链从而被溶解，而短链就更容易被打断。所以高相对分子质量的PMMA灵敏度更低。但是即使是50K的PMMA与950K的PMMA在灵敏度上相差只有15-20%。让然即使是这20%也足以让我们好好利用这种灵敏度的差异进行搭配做出undercut结构以及T-gate应用等。