非金属离子显影液,TMAH基显影液是最常见的显影液。通常TMAH显影液的浓度有用当量浓度也有用质量分数的来计量的,他们之间什么关系?如何换算?
1N碱当量浓度是指:1mol/L的OH-离子浓度。所以不难通过TMAH的相对分子质量计算获得,下面我们以最常使用的0.26N当量的TMAH(相对分子质量91.15)为例:
质量浓度(m)% = 100X(91.15X0.26N)/(1LX 1000)=2.37%
也就我们常说的2.38%的质量百分比浓度,为什么有点差异呢?因为,溶解了TMAH的溶液密度略微大于1g/l,而我们还是按照1来计算的。所以略有出入。
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