非金属离子显影液,TMAH基显影液是最常见的显影液。通常TMAH显影液的浓度有用当量浓度也有用质量分数的来计量的,他们之间什么关系?如何换算?
1N碱当量浓度是指:1mol/L的OH-离子浓度。所以不难通过TMAH的相对分子质量计算获得,下面我们以最常使用的0.26N当量的TMAH(相对分子质量91.15)为例:
质量浓度(m)% = 100X(91.15X0.26N)/(1LX 1000)=2.37%
也就我们常说的2.38%的质量百分比浓度,为什么有点差异呢?因为,溶解了TMAH的溶液密度略微大于1g/l,而我们还是按照1来计算的。所以略有出入。
You must be logged in to reply to this topic.
Litho+ wiki是一个非盈利网站,主要用于分享光刻及使用光刻胶的基本知识,我们致力于汇集光刻技术及光刻胶使用方面的专业信息,帮助从事相关行业的老师及技术人员能够简单、快速获取相关内容,并为大家创建一个可以分享交流的平台。
我们欢迎更多光刻从业者加入我们,丰富我们的内容,为更多的用户带来新颖的技术手段和使用心得。
您可通过发送邮件到prlibteam@163.com与我们联系,并给我提出您的建议和意见!
您可以通过我们Support子站免费获得以下服务:1.寻找光刻胶产品技术资料,安全信息,应用报告;2.提交您在光刻过程中遇到的工艺问题;3.分享您在光刻工作中的心得和富有创意性的成果!
欢迎您登陆我们的sup.prlib.cn,并给我们提出您宝贵的建议!