显影液当量浓度和质量浓度的关系？

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非金属离子显影液，TMAH基显影液是最常见的显影液。通常TMAH显影液的浓度有用当量浓度也有用质量分数的来计量的，他们之间什么关系？如何换算？

[管理员]

1N碱当量浓度是指：1mol/L的OH-离子浓度。所以不难通过TMAH的相对分子质量计算获得，下面我们以最常使用的0.26N当量的TMAH（相对分子质量91.15）为例：

质量浓度（m）% = 100X（91.15X0.26N）/(1LX 1000)=2.37%

也就我们常说的2.38%的质量百分比浓度，为什么有点差异呢？因为，溶解了TMAH的溶液密度略微大于1g/l，而我们还是按照1来计算的。所以略有出入。