如题，求推荐溶剂不同，显影液可以相同的两种光刻胶，最好是100nm厚的薄胶，谢谢
不清楚需要哪种胶，电子束还是紫外，如果是紫外胶，大部分紫外胶的溶剂都是PGMEA，显影液都是水溶性碱液。电子束胶的话，有不同溶剂的胶，特别是PMMA。但是我想您应该是想做多层？
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