光刻胶折射率怎么获得?

在做光刻工艺时,我们有时候需要通过光刻胶的折射率参数配合反射式膜厚仪获得光刻胶的胶厚(参见旋涂曲线),或者我们利用光刻胶本身制作微纳光学器件必须要直达光刻胶的折射率参数。那么如何获得某款光刻胶的折射率参数呢?

折射率是光刻胶的重要参数之一,所以绝大部分光刻胶工艺上都会针对某款光刻胶提供这个参数,但是由于光刻胶的折射率是随着光的波长变化的。所以,这就决定了光刻胶厂家不可能将所有波长下的折射率参数全部提供。但是我们知道物质的折射率和波长之间遵循柯西散射公式。所以我们只需要提供柯西系数,就可以获得对应波长下的折射率值。如下案例所示:

  1. 首选,我们查阅光刻胶产品(以AR-P 3100为例)手册中柯西系数如下:
图1 柯西系数查找

2. 将柯西系数带入如下公式:

当波长以um计算时,柯西公式表达如下:

当波长单位以埃来计量时,柯西公式表达如下

计算中需要保证单位的统一,关于消光系数K,由于绝大部分光刻胶都是透明的,所以消光系数一般为0.

特别注意:柯西系数通常对应光刻胶在未曝光的条件下和完全曝光下的参数往往是不一样的。且柯西系数是由可见光谱范围内测量的n值拟合而成的,因此仅适用于可见光波段。在光刻胶吸收光谱范围内的光谱级数n(λ)不能由柯西常数计算出来。

当然, 您还可以借助专业设备(如椭偏仪)来获得材料的折射率等参数!

点击数:765

Was this article helpful?

Related Articles

2 Comments

    1. 管理员

      建议您可以了解一下柯西色散公式,如果只是光刻应用,只需要了解如何获得折射率就足够了。

Leave A Comment?