食人鱼清洁方法

食人鱼溶液用于去除基材上的有机残留物。食人鱼溶液由浓硫酸 (H2SO4 ) 与过氧化氢 (H2O2) 的 3:1 混合物制成。这种溶液在配置过程中会剧烈发热,具有危险性,酸性食人鱼液中的反应是自发的,因而务必小心操作。

本文仅作为一种工艺的介绍和参考文档,并不能替代实验室操作规范,请严格遵守实验室相关安全管理规范进行实验,用户必须通过定期的湿法台培训才能使用食人鱼解决方案。

概述

食人鱼溶液主要用于去除衬底上的有机残留物。食人鱼溶液由浓硫酸 (H2SO4 ) 与过氧化氢 (H2O2) 的 3:1 混合物制成。热的溶液很危险,酸性食人鱼中的反应是自发进行的。

有很多事情会导致反应加速失控。“失控”可能意味着任何事情,从食人鱼从容器中冒出泡沫并外溢致工作台上,到由巨大冲击波爆炸导致包括手套和保护衣及玻璃碎裂等。食人鱼液中有机物也会发生燃烧,如果你为它们提供足够的燃料(即光刻胶,IPA),它们会产生大量的热量和气体。

所涉及的化学品有毒且危险。永远不要做你不确定的事情。如有疑问,请务必咨询实验室管理员。并熟读所使用的的化学品的安全数据表,熟悉各种应急处理办法。

所用设备

请在指定的湿法台上进行操作

  • 热板(如果需要90至120°C的加热)
  • 2个玻璃烧杯或2个耐热玻璃托盘,2个刻度量筒。

化学品:

  • 双氧水(过氧化氢)
  • 硫酸(H2SO4)

如果您需要技术人员的协助,请在预订设备前与他们确认是否可用。用户在使用该设备之前必须经过定期培训。

操作前准备

穿保护性的酸性黄色围裙,全脸保护和绿色酸性手套。
处理食人鱼液时,只使用玻璃容器(最好是耐热玻璃容器)。在实验中使用的容器必须非常清楚地标记(使用显微镜载玻片)和警告标志,任何在通风橱中工作的用户都可以看到,必须随时张贴,表明玻璃器皿含有食人鱼混合物。
在通风橱中混合溶液时务必保护好自己。按照一般湿法处理SOP的要求穿戴全套防护。

在准备食人鱼溶液时,一定要在酸中加入过氧化氢。在蚀刻过程之前尽快添加H2O2,因为它立即与气体(压力)释放产生放热反应。如果H2O2浓度达到50%或更高,就可能发生爆炸,因此在混合之前必须精确测量必要的量。

食人鱼溶液具有非常大的爆炸潜在危险。它很可能会变热,超过100°C。因此必须小心轻放。
薄片/样品在放入食人鱼浴池前应先冲洗和干燥。食人鱼是用来去除光刻胶和丙酮残留物,而不是化合物本身。请不要直接使用此溶液从晶圆/样品上去除光刻胶。在使用食人鱼之前,先在氧等离子体(参见光刻胶去除SOP)或丙酮/IPA浴中处理晶片/样品。

将热的食人鱼溶液放在一个开放的容器中冷却。大约需要1小时才能达到可接受的温度。
不要储存热的食人鱼溶液。储存在密闭容器中的食人鱼液很可能会爆炸。
向食人鱼液中加入任何酸或碱或向其喷水都会加速反应。这包括光刻胶。
将热的食人鱼液与有机化合物混合可能会引起爆炸。这包括丙酮,光刻胶,异丙醇和尼龙。
请务必检查化学品的可用性。

操作描述

操作

按照标准操作程序(一般湿法处理)准备所需的2种化学品。
警告:通常必须在最后添加酸。食人鱼液是个例外:先加入硫酸,然后慢慢倒入过氧化氢。溶液会加热到80°C。

清洗

将晶圆/样品在溶液中浸泡10min。永远不要让这个解决方案无人看管。10min后溶液温度通常达到60°C。
为了更强的清洁,可以使用热板将溶液从100到120°C加热。可以理解,在这种温度下,操作更加危险,所以必须更加注意。

冲洗

将晶片/样品从食人鱼溶液中取出,并将其浸泡在先前装满去离子水的槽中。开始3个循环的去离子水冲洗。

处置和清理
让食人鱼溶液在有明显的标签标识下冷却。在一般湿法处理之后,将其处理在专用废液回收装置中。
用清水冲洗所有实验器具三次,然后放在干燥架上。

至此,我们就介绍完了微纳实验室常用的食人鱼液清洗过程,请务必遵守实验室管理制度,在充分培训后方可进行此工艺。更多相关清洗过程,关注litho wiki其他部分内容……

点击数:220

Was this article helpful?

Related Articles

Leave A Comment?