导致光刻胶变色的原因有哪些?

存储时间

正胶和图形反转胶在存储数月后会变暗,而且随着储存温度升高而加速。因为该类型光刻胶含有的光活性化合物形成偶氮染料,在 可见光谱的部分具有很强的吸收能力,对紫外灵敏度没有任何影响。这种变色过程非常缓慢,因此通常只有在更换新批次的光刻胶时才会被注意到。

污染

光刻胶与水或不适合的溶剂(如异丙醇)接触,或经冷冻后的抗蚀剂可能会改变其颜色。在这种情况下,光刻胶的变质是不可避免的。

衬底和光刻胶厚度

在不同的基材上,光刻胶膜会呈现不同的颜色。特别是对于薄的光刻胶薄膜,仅改变10nm的抗蚀剂薄膜厚度就会引起光刻胶薄膜的干涉色变。这种厚度的变化可能是由溶剂挥发、光刻胶老化、温度或空气湿度的变化、或涂层设备或参数的变化引起的。

化学侵蚀

含HNO3蚀刻液的侵蚀或高温烘烤可导致光刻胶结构的变色(褐色)。

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