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氧等离子去胶机在微纳加工中的应用

去胶机作为微纳米加工的基础设备之一，在微纳米技术及加工中有着丰富的应用场景，本文将针对微纳米加工中常 […]

我们知道，半导体器件的制作和生产主要需要依赖于光刻技术。然而，具有更高性能的新设备的出现以及对复杂图 […]

众所周知，用于电子束光刻的光刻胶就是我们接下来需要介绍的电子束光刻胶，我们通常也称之为电子束抗蚀剂。 […]

前面我们概要的介绍过电子束光刻，但是电子束光刻是一个相当复杂的过程，其曝光过程中涉及到电子束与物质的 […]

我们知道，微纳加工的核心是光刻技术，为了保证微纳米尺度下的加工，对环境的要求就极为苛刻，因此我们几乎 […]

图形反转胶是比较常见的一种紫外光刻胶，它既可以当正胶使用又可以作为负胶使用。相比而言，负胶工艺更被人 […]

家用电器、手机、汽车和其他日常技术已经完全被超小型集成电路所改变。可靠的三维电路制造对于进一步实现 […]

随着光学研究发展向更小尺度的微纳光学，微纳光学器件在我们日常的电子消费品、防伪、安防以及照明灯产品中 […]

非线性光学转换-即由于一定波长的入射光束与其通过的材料的相互作用而使特定波长的入射光束转变为不同波长 […]

我们知道，现在可以使用先进的纳米技术加工出仅几纳米大小的结构。最小尺度范围粒子，也称为量子系统，在 […]