我们知道，微纳加工的核心是光刻技术，为了保证微纳米尺度下的加工，对环境的要求就极为苛刻，因此我们几乎所有的工作都需要可控的环境中进行，这里可控的生产和实验环境就是我们今天介绍的洁净间（clear room，或者叫洁净室、超净间）。洁净间的规划和设计涉及非常多内容，这些往往需要根据实际的需求设计规划，这里我们只是概要的介绍一下洁净间。

什么是洁净间？

洁净间（无尘间、洁净室）是指具有HEPA过滤功能以从空气中去除颗粒的房间。 洁净室用于要求高洁净度和无菌性的制造。常见的应用是医疗设备，制药和半导体制造。

什么是HEPA过滤？

HEPA是一种折叠式机械空气过滤器。它是“高效颗粒空气[过滤器]”（由美国能源部正式定义）的首字母缩写。这种类型的空气滤清器理论上可以清除至少99.97％的灰尘，花粉，霉菌，细菌和任何直径为0.3微米（µm）的空气传播颗粒。0.3微米的直径规格可应对最坏的情况；最具穿透力的粒径（MPPS）。更大或更小的粒子被更高效率地捕获。使用最坏情况下的粒度会导致最坏情况下的效率等级（即，所有粒度均达到99.97％或更高）。所有空气滤清器都需要定期清洁和更换过滤器才能正常运行。

洁净间究竟有多干净？

非常干净！100级无尘室每立方英尺有100个颗粒。相比之下，您的典型办公空间每立方英尺有500,000到100万个粒子。洁净室的等级从100级到100,000级不等美国标准和国际标准如下图所示。

什么地方需要用到洁净间？

医疗器械和药品制造需要无菌环境才能生产其产品。洁净室提供了这种无菌的超洁净制造空间，从而减少了污染物进入您的药物的机会。半导体制造商生产具有超小型超高密度功能的器件。例如用于手机或PC的计算机芯片。如果在制造过程中污染物积聚在芯片上，则它们将无法工作。

洁净间中需要做什么？不可以做什么？

可做：
◆ 请定期擦拭所有表面以去除污染物；
◆ 确保确保门始终关闭以保持正压力；
◆ 始终确保所有员工都穿着洁净室工作服，穿在街上的衣服上，以防止污染进入洁净室。

不可以做：
◆ 不要在无尘室中吃东西或喝水；
◆ 请勿将肮脏的设备或材料带入无尘室–始终将其擦拭干净后再带入；
◆ 请勿关闭HEPA风扇过滤器单元–在重新打开洁净室之前，将它们重新打开要花费几个小时。

ISO洁净间规范：

ISO 5 是超净室分类： 洁净室每立方米必须有少于3,520个大于0.5微米的颗粒，每小时要过滤250-300个HEPA过滤空气。等效的FED标准为每立方英尺100或100级颗粒。常见的应用是半导体制造和制药填充室。

ISO 6 是非常干净的洁净室分类：洁净室每立方米必须有少于35,200个大于0.5微米的颗粒，每小时要进行180次HEPA过滤空气更换。等效的FED标准是每立方英尺1000级或1000级颗粒。

ISO 7 是常见的无尘室分类。洁净室每立方米必须有少于352,000个大于0.5微米的颗粒，每小时要进行60HEPA过滤后的空气更换。等效的FED标准为每立方英尺10.000或10,000级颗粒。 常见的应用是药房USP800复合室，电子制造和医疗设备制造。

ISO 8 是最低等级的洁净室分类。洁净室每立方米必须少于35个，200,000个大于0.5微米的颗粒，每小时要进行20次HEPA过滤后的空气更换。相比之下，一个典型的办公室空间将多脏5-10倍。等效的FED标准为每立方英尺100,000或100,000级颗粒。常见的应用包括用于医疗设备的塑料挤出，电子液体制造以及保健食品包装。

了解更多光刻及光刻胶知识库，欢迎关注Litho+wiki，获取更多信息……

Visits: 1207